多晶和單晶

在本征半導體中，晶胞間不是規則排列的，好似方塊雜亂無章地堆起來一樣，每個方塊代表一個晶胞，我們稱之為多晶結構；當晶胞整潔而有規則地排列時，我們稱其具有單晶結構。

單晶結構的材料相對于多晶結構來說具有更一致和更可預測的性質，單晶結構允許在半導體里一致和可預測性的電子流動，所以單晶結構是半導體器件所需的。

晶體定向

對于一個晶圓，除了要單晶結構，還需要有特定的晶向(crystal orientation)。在垂直平面或者角對角切割可以得到不同的平面，不同的原子數以及不同的原子間結合能，每個平面具有不同的化學、電學和物理特性。晶面一般通過一系列稱為密勒指數的三個數字組合來表示，在硅晶圓中常使用的晶向<100>和<111>：

一般<100>晶向的晶圓被用來制造MOS器件，而<111>晶向的晶圓被用來制造雙極型器件。